positive negative pr

반도체 질문은 반도체 전문가 서재범쌤에게!
정확한 답변을 위해 아래 양식에 맞춰 질문글을 작성해주세요 :)

■ 전공

화공

■ 세부 질문 분야
(ex. 회로설계직무/양산기술직무/메모리소자/DRAM/MOSFET/포토공정/CVD 등)

포토공정

■ 상세 질문 내용
(ex. 질문을 하게 된 강의명과 챕터명 or 도서의 페이지까지 구체적으로 적어주시면 더 좋아요! 일반 질문인 경우 강의명과 도서명은 적어주지 않아도 됩니다^^)

1. negative pr에서만 swelling현상이 나타나는 이유는 구조상 현상액이 들어갈 수 있기 떄문이라고 공부했습니다. positive는 현상액이 들어가지 않고 negative는 들어가는 정확한 이유가 궁금합니다!

또, negative pr의 처리량이 더 좋은 이유도 궁금합니다.

2. 추가적으로 텅스텐의 매립특성이 좋은 이유가 궁금합니다

질문이 많아서 죄송합니다. 다음주에 면접인데 항상 선생님께 도움 많이 받고 있습니다! 감사합니다