여전히 기업에서는 왜 DUV기술을 더 많이 쓰는지 궁금합니다.
반도체공정2
2022.10.05 22:32
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https://community.weport.co.kr/weport_qna/4528133
반도체 질문은 반도체 전문가 서재범쌤에게!
정확한 답변을 위해 아래 양식에 맞춰 질문글을 작성해주세요 :)
■ 전공
전자공학
■ 세부 질문 분야
(ex. 회로설계직무/양산기술직무/메모리소자/DRAM/MOSFET/포토공정/CVD 등)
포토공정
■ 상세 질문 내용
(ex. 질문을 하게 된 강의명과 챕터명 or 도서의 페이지까지 구체적으로 적어주시면 더 좋아요! 일반 질문인 경우 강의명과 도서명은 적어주지 않아도 됩니다^^)
EUV의 생산성을 높이기 위한 batch type 장비나, 해상도를 높일 수 있는 high-NA 기술이 개발 된 것으로 아는데 기업에서는 왜 여전히
DUV 기술을 더 많이 사용하는 지 궁금합니다.(ASML 기준입니다)
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작성자 반도체공정2
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