파라데이컵(Faraday cup)에서 발생하는 파티클(Particle) 질문

반도체 질문은 반도체 전문가 서재범쌤에게!
정확한 답변을 위해 아래 양식에 맞춰 질문글을 작성해주세요 :)

■ 전공

전자공학

■ 세부 질문 분야
(ex. 회로설계직무/양산기술직무/메모리소자/DRAM/MOSFET/포토공정/CVD 등)

계측 (Scanning Electron Microscope)

■ 상세 질문 내용
(ex. 질문을 하게 된 강의명과 챕터명 or 도서의 페이지까지 구체적으로 적어주시면 더 좋아요! 일반 질문인 경우 강의명과 도서명은 적어주지 않아도 됩니다^^)

안녕하세요.

SEM에 대해서 궁금해서 질문 드립니다. Column에서 떨어지는 전자의 전류 측정을 위해 faraday cup을 이용하는 것으로 알고 있습니다.

가령 50pA로 설정 해 두고 faraday cup 위에 올려두면 현재 값을 측정가능합니다. 근데 어느 순간 faraday cup에서 particle이 뿜어져나와 wafer를 오염 시키더라구요. (고진공 쳄버 안입니다)

근데 신기하게도 faraday cup 컨트롤러에서 전압을 끊어주면 파티클이 나오지 않아 wafer에서는 아무 것도 검출되지 않습니다.

Faraday cup의 어떤 문제가 있으면 particle을 야기 할 수 있는걸까요?? 궁금합니다..