반도체 질문은 반도체 전문가 서재범쌤에게!
정확한 답변을 위해 아래 양식에 맞춰 질문글을 작성해주세요 :)

■ 전공

전자공학

■ 세부 질문 분야
(ex. 회로설계직무/양산기술직무/메모리소자/DRAM/MOSFET/포토공정/CVD 등)

Finfet 의 Fin

■ 상세 질문 내용
(ex. 질문을 하게 된 강의명과 챕터명 or 도서의 페이지까지 구체적으로 적어주시면 더 좋아요! 일반 질문인 경우 강의명과 도서명은 적어주지 않아도 됩니다^^)

Finfet 의 Fin관련을 찾아보다가 scaling이 되면서 점점 shape가 바뀌는것을 알게 되었습니다. 

scaling을 겪으면서 점점 rectangular 모양으로 바뀌는것으로 알고 있습니다.

1. rectangular 모양에서는 corner effect가 있어서 둥글게 깎는걸로 알고있습니다. 아니면 SiN을 위에 붙이는 걸로 알고 있는데

두가지 기법 전부 실제 공정에서 쓰이는 건가요? 장단점이 존재하는 건가요?

2. 직사각형모양과 사다리꼴 모양의 fin에서 aspect ratio(fin height/fin width) 가 클 수록 좋은건가요? 아니면 공정상의 이유로 최적의 점을 찾는건지 궁금합니다.