Solid phase diffusion
thtj445
2021.03.06 00:10
조회 222추천 0스크랩 0
https://community.weport.co.kr/weport_qna/4513433
반도체 질문은 반도체 전문가 서재범쌤에게!
정확한 답변을 위해 아래 양식에 맞춰 질문글을 작성해주세요 :)
■ 전공
전자공학
■ 세부 질문 분야
(ex. 회로설계직무/양산기술직무/메모리소자/DRAM/MOSFET/포토공정/CVD 등)
solid phase diffusion
■ 상세 질문 내용
(ex. 질문을 하게 된 강의명과 챕터명 or 도서의 페이지까지 구체적으로 적어주시면 더 좋아요! 일반 질문인 경우 강의명과 도서명은 적어주지 않아도 됩니다^^)
안녕하세요 선생님
diffusion 부분을 공부하고 있는데 boron을 n-type silicon 기판에 고체상확산(solid phase diffusion)할 경우, B2O3를 만들어주어야 한다는데 왜 B2O3를 만들어주는건가요? shallow junction을 형성하기에 일반 boron보다 더 유리하기 때문인가요???
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작성자 thtj445
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