반도체 질문은 반도체 전문가 서재범쌤에게!
정확한 답변을 위해 아래 양식에 맞춰 질문글을 작성해주세요 :)

■ 전공

전자공학

■ 세부 질문 분야
(ex. 회로설계직무/양산기술직무/메모리소자/DRAM/MOSFET/포토공정/CVD 등)

PR 종류 중 CAR

■ 상세 질문 내용
(ex. 질문을 하게 된 강의명과 챕터명 or 도서의 페이지까지 구체적으로 적어주시면 더 좋아요! 일반 질문인 경우 강의명과 도서명은 적어주지 않아도 됩니다^^)

엔지닉 이론 교재에서 CAR이 DUV용 PR로 설명이 되는데, DUV는 KrF와 ArF로 알고 있습니다.

Polymer chain + 산 변성 방지 그룹 + PAG로 알고 있는데요. 뒷 부분에 ‘지금까지 설명한 CAR은 KrF에선 사용이 가능하지만 ArF는 파이-파이 전이로 빛을 흡수해서 못사용한다고 적혀있습니다.’ 대신 고분자유형을 다른 것을 사용한다고 되어있는데요.

그러면 이 뜻은 DUV PR로 CAR이 사용되는건 맞지만 

Polymer chain 대신  Polymethacrylates 을 사용한단 건가요? 

Poltmethacrylates + 산 변성 방지 그룹 + PAG -> ArF 용 PR( = CAR PR 중 하나 ) 가 맞는지 궁금합니다.