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구리를 PVD로 사용하는이유가 무엇인지 궁금합니다.

삼성, 장비업계
2021.04.14 01:23
조회 1514추천 0스크랩 0
https://community.weport.co.kr/best/4514101
반도체 질문은 반도체 전문가 서재범쌤에게!
정확한 답변을 위해 아래 양식에 맞춰 질문글을 작성해주세요 :)
■ 전공
화학공학과
■ 세부 질문 분야
(ex. 회로설계직무/양산기술직무/메모리소자/DRAM/MOSFET/포토공정/CVD 등)
공정 기술, 장비 업계
■ 상세 질문 내용
(ex. 질문을 하게 된 강의명과 챕터명 or 도서의 페이지까지 구체적으로 적어주시면 더 좋아요! 일반 질문인 경우 강의명과 도서명은 적어주지 않아도 됩니다^^)
구리를 PVD로 사용하는 제일 큰 이유가 무엇인가요??
구리가 휘발성이 있는 기체 상태로 만들기 어려워 CVD로 구리 배선 증착을 사용하지 않는건가요?
아니면 PVD가 CVD대비 가격이 낮아서 사용하는건가요?
무엇이 제일 큰 이유인지 궁금합니다.!!
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작성자 삼성, 장비업계
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