반도체 질문은 반도체 전문가 서재범쌤에게!
정확한 답변을 위해 아래 양식에 맞춰 질문글을 작성해주세요 :)

■ 전공

전자공학과

■ 세부 질문 분야
(ex. 회로설계직무/양산기술직무/메모리소자/DRAM/MOSFET/포토공정/CVD 등)

포토공정

■ 상세 질문 내용
(ex. 질문을 하게 된 강의명과 챕터명 or 도서의 페이지까지 구체적으로 적어주시면 더 좋아요! 일반 질문인 경우 강의명과 도서명은 적어주지 않아도 됩니다^^)

공정기술 직무 희망하고 있는데 궁금한 것이 있습니다.

1. 포토공정 엔지니어가 엣지 수율을 높이는데 무슨일을 하는지 궁금합니다.

2. Edge bead 를 제거하기 위해 EBR처리를 하는 것도 1번의 일 부분인가요?

3. 만약 제대로된 EBR 처리가 안됐을 시 처리가 안됐다는 것을 어떻게 확인하나요?

4. 포토공정에서 엣지 불량이 났을 시에 다른 align, overlay말고 edge bead 문제라는 것을 어떻게 알 수 있나요? 예를 들면 불량이 엣지 부분에 많다라는 식인가요? 

감사합니다 !