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다마신 공정 질문

골프공33
2021.08.09 11:24
조회 215추천 0스크랩 0
https://community.weport.co.kr/best/4524839
반도체 질문은 반도체 전문가 서재범쌤에게!
정확한 답변을 위해 아래 양식에 맞춰 질문글을 작성해주세요 :)
■ 전공
전기전자공학
■ 세부 질문 분야
(ex. 회로설계직무/양산기술직무/메모리소자/DRAM/MOSFET/포토공정/CVD 등)
CMP 다마신공정
■ 상세 질문 내용
(ex. 질문을 하게 된 강의명과 챕터명 or 도서의 페이지까지 구체적으로 적어주시면 더 좋아요! 일반 질문인 경우 강의명과 도서명은 적어주지 않아도 됩니다^^)
다마신 공정 때 Cu를 도금한다고 알고 있습니다. 근데 CVD로 안하고 도금으로 하는 건지 궁금합니다!
ㅊCVD로 할 때 문제점이 있을까요?
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작성자 골프공33
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