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etch back 공정에 관하여
기니
2021.04.20 22:16
조회 5323추천 0스크랩 0
https://community.weport.co.kr/best/4514156
반도체 질문은 반도체 전문가 서재범쌤에게!
정확한 답변을 위해 아래 양식에 맞춰 질문글을 작성해주세요 :)
■ 전공
전자전기 공학
■ 세부 질문 분야
(ex. 회로설계직무/양산기술직무/메모리소자/DRAM/MOSFET/포토공정/CVD 등)
공정기술
■ 상세 질문 내용
(ex. 질문을 하게 된 강의명과 챕터명 or 도서의 페이지까지 구체적으로 적어주시면 더 좋아요! 일반 질문인 경우 강의명과 도서명은 적어주지 않아도 됩니다^^)
선생님 안녕하세요? 엔지닉 책으로 공부하고 있던 중에 궁금증이 생겨 여쭤봅니다
etch back 공정에 대하여 궁금하여 질문드립니다.
구글에 검색해보면 포토 공정없이 선택비를 이용하여 에치하는 방법이라고 나와있는데 이것이 이미 한번 포토 공정을 거친 패턴에서 RIE 같은 방법을 사용해서 한다는 것인가요?
이것과 etching 공정과의 차이와 실제 사용하는 공정 사례가 궁금합니다.
감사합니다.
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작성자 기니
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