안녕하세요 선생님. PEB온도 관련 질문이 있습니다.

반도체 질문은 반도체 전문가 서재범쌤에게!
정확한 답변을 위해 아래 양식에 맞춰 질문글을 작성해주세요 :)

■ 전공

■ 세부 질문 분야
(ex. 회로설계직무/양산기술직무/메모리소자/DRAM/MOSFET/포토공정/CVD 등)

■ 상세 질문 내용
(ex. 질문을 하게 된 강의명과 챕터명 or 도서의 페이지까지 구체적으로 적어주시면 더 좋아요! 일반 질문인 경우 강의명과 도서명은 적어주지 않아도 됩니다^^)

Non-CAR 물질을 사용하여 공정을 진행할 때 PEB 온도가 올라가면 두께가 더 두꺼워 질까요?

PEB 온도가 올라가면 PAC의 확산이 증가하니까 반대로 두께가 더 감소하게 될까요?

감사합니다.