학습일지 2일차 반도체 공정

반도체 공정설계 중 식각 공정을 학습했습니다.

식각 공정은 크게 두가지로 나뉘는 것은 전공 수업시간에 들었던 내용이었습니다. 

실리콘 산화막에 이어 심화 과정인 실리콘 질화막 습식 식각의 개념을 더 자세히 확인할 수 있습니다.

또한 건식에서도 플라즈마 유도 개념을 흝기만 해서 자세히는 모르고 있었는데 용량성 결합과 유동성 결합 플라즈마를 자세히는 몰랐던 것 같습니다. 

이와 같이 이론을 바탕으로 점점 심화된 식각 공정을 알 수 있는 계기가 되었습니다.

마무리로 기출 문제로 정리하면서 식각에 대해 마스터한 기분이라 좋은 경험이었습니다.