진공 장비에 대해 궁금합니다.

반도체 질문은 반도체 전문가 서재범쌤에게!
정확한 답변을 위해 아래 양식에 맞춰 질문글을 작성해주세요 :)

■ 전공

물리학과

■ 세부 질문 분야
(ex. 회로설계직무/양산기술직무/메모리소자/DRAM/MOSFET/포토공정/CVD 등)

진공

■ 상세 질문 내용
(ex. 질문을 하게 된 강의명과 챕터명 or 도서의 페이지까지 구체적으로 적어주시면 더 좋아요! 일반 질문인 경우 강의명과 도서명은 적어주지 않아도 됩니다^^)

선생님항상질문에답변해주셔서감사합니다!!!

1.로터리펌프의역할중고진공펌프의backing을잡아주는것이라고하는데baking을잡아준다는말이무슨뜻인가요?

2.진공을 뽑을 때 roughing valve를 열어 저진공을 잡기 - foreline valve를 열기 - 터보펌프를 켜고 다시 forelinevalve를 닫기 - roughing valve를 열고 저진공 잡는 순서로 진행했습니다. roughing valve를 열어 저진공을 잡았는데 터보펌프를 켠 후에 또 roughing valve를 열어 저진공을 다시 한 번 잡는 이유가 궁긍합니다. 바로 foreline으로 잡으면 안되나요?

3.진공장비에서 가장 하지말아야할 행동이 foreline과 roughing valve를 동시에 여는 것이라고 하는데 이유가 궁긍합니다.

4.현업에서 가장 많이 쓰이는 진공펌프가 궁금합니다.