반도체 질문은 반도체 전문가 서재범쌤에게!
정확한 답변을 위해 아래 양식에 맞춰 질문글을 작성해주세요 :)

■ 전공

재료

■ 세부 질문 분야
(ex. 회로설계직무/양산기술직무/메모리소자/DRAM/MOSFET/포토공정/CVD 등)

Etch

■ 상세 질문 내용
(ex. 질문을 하게 된 강의명과 챕터명 or 도서의 페이지까지 구체적으로 적어주시면 더 좋아요! 일반 질문인 경우 강의명과 도서명은 적어주지 않아도 됩니다^^)

공정마다 다르겠지만, 첨부된 사진에서 SiON도 BARC 역할을 하는걸로 아는데, 또 위에 BARC를 깔아주는 이유가 뭔가요?

그리고 하드마스크 자체를 여러개 하는건 미세패턴의 안정적인 구현을 위한건가요? 첨부 사진에서 SiON과 ACL 둘다 사용하는 것 처럼요.

감사합니다!!