반도체 질문은 반도체 전문가 서재범쌤에게!
정확한 답변을 위해 아래 양식에 맞춰 질문글을 작성해주세요 :)

■ 전공

전기공학과

■ 세부 질문 분야
(ex. 회로설계직무/양산기술직무/메모리소자/DRAM/MOSFET/포토공정/CVD 등)

포토공정 화학증폭형 PR

■ 상세 질문 내용
(ex. 질문을 하게 된 강의명과 챕터명 or 도서의 페이지까지 구체적으로 적어주시면 더 좋아요! 일반 질문인 경우 강의명과 도서명은 적어주지 않아도 됩니다^^)

서재범 선생님의 포토공정 강의를 수강하는 학생입니다!

다름이 아니라 화학증폭형 PR 개발 이유에 대해서 궁금한 점이 있어서 질문 남깁니다!

UV용 PR이 DUV 광을 흡수하므로 화학증폭형 PR이 개발되었다 하셨는데 PR이 광을 흡수하면 왜 안되는지가 궁금합니다! 광을 흡수해서 결합이 끊어지고 현상이 되는것 아닌가요? 제가 맞게 이해하고있는지가 궁금합니다!

또한 광 강도에 대한 빛 감응도 저하에서 DUV로 광원이 바뀌면 왜 광 강도가 감소하는지도 궁금합니다!

감사합니다 선생님!