반도체 질문은 반도체 전문가 서재범쌤에게!
정확한 답변을 위해 아래 양식에 맞춰 질문글을 작성해주세요 :)

■ 전공

재료

■ 세부 질문 분야
(ex. 회로설계직무/양산기술직무/메모리소자/DRAM/MOSFET/포토공정/CVD 등)

oxidation

■ 상세 질문 내용
(ex. 질문을 하게 된 강의명과 챕터명 or 도서의 페이지까지 구체적으로 적어주시면 더 좋아요! 일반 질문인 경우 강의명과 도서명은 적어주지 않아도 됩니다^^)

교재 p.351에 oxide 성장에 영향을 미치는 인자들 중 “산화 시의 도펀트 재분포”가 있습니다. 이때, 도펀트가 oxide 성장에 어떤 영향을 주는 건지 정확히 이해가 안갑니다. oxide의 성장속도랑은 상관관계가 있나요?